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Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 1200
上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 1200, 抽速可达 1250 l/s 的高性能涡轮分子泵. 对各种气体均有高抽吸能力, 高工艺适用性, 防止进入颗粒. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54. 通过控制器, 监控运算数据尽可能的保证分子泵的安全性. 涡轮分子泵 HiPace 1200 搭配控制器 TC 1200. 涡轮分子泵 HiPace 1200 通讯接口 RS-485, 远程遥控（Profibus/DeviceNet 备询）, 多种配件供客户选择.
涡轮分子泵 HiPace 1200 特性
对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量
分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证
防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求
监控运算数据尽可能的保证分子泵的安全性
分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蚀型号
带节流阀和阀门的集成净化气体系统
Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 1200 技术规格
|
型号 |
HiPace 1200 TC 1200 |
HiPace 1200 TC 1200 |
HiPace 1200 TC 1200 |
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Ar 压缩比 |
>1X108 |
>1X108 |
>1X108 |
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H2 压缩比 |
6X103 |
6X103 |
6X103 |
|
He 压缩比 |
2X104 |
2X104 |
2X104 |
|
N2 压缩比 |
>1X108 |
>1X108 |
>1X108 |
|
最大预抽真空, N2 hPa |
2 |
2 |
2 |
|
Ar全转速时气体流量hPa l/s |
11 |
11 |
6 |
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H2 全转速时气体流量hPa l/s |
>30 |
>30 |
>30 |
|
He全转速时气体流量hPa l/s |
>30 |
>30 |
16 |
|
N2 全转速时气体流量hPa l/s |
20 |
20 |
16 |
|
操作电压 V AC |
100-120 / 200-240 |
100-120 / 200-240 |
100-120 / 200-240 |
|
最大电流 A |
10 |
10 |
10 |
|
允许最大磁场 mT |
6 |
6 |
6 |
|
Ar抽速l/s |
1200 |
1200 |
1200 |
|
H2 抽速l/s |
1100 |
1100 |
1100 |
|
He 抽速 l/s |
1300 |
1300 |
1300 |
|
N2 抽速l/s |
1250 |
1250 |
1250 |
|
转速 ± 2 % rpm |
37800 |
37800 |
37800 |
|
启动时间 min |
2.5 |
2.5 |
2.5 |
|
极限真空 hPa |
1X10-7 |
1X10-7 |
5X10-10 |
|
重量 kg |
29.5 |
30.5 |
40.9 |
分子泵应用 HiPace 1200:
镀膜: LED, 光伏, 硬盘镀膜, 硬质涂层, 卷绕镀膜, 光学镀膜, CD / DVD / PVD
工业: 医学技术, 电子束焊接, 隔离真空, 灯管制造
研发: 聚变研究, 等离子研究, 模拟空间站, 基本粒子物理学, 生物技术
半导体: PVD, CVD, Beamline, MBE
若您需要进一步的了解分子泵详细信息, 请联络上海伯东邓女士，分机134
上海伯东 涡轮分子泵 HiPace 1200
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