伺服电机,功能强大
高精度伺服控制系统,转速精准至1rpm
点内置100组可编辑匀胶程序,提高工艺重复性
真空负压可调,减少簿片变形,不易破碎
机械式定位悬臂,操作一步到位
二、显影机功能与参数:
全新设计,旋涂更为均匀稳定
PP外壳设计,HDPE超高分子材料内腔
大尺寸(8")套盘式载物盘,旋转更稳定
内腔深度增加45%,减少腔内气流干扰
增设独立下抽风口,便于控制腔内气流
三、优势规格:
人性化操作,使用灵活,安全可靠
触屏控制面板操作系统,更方便操作
数显压力表实时显示负压,反应灵敏,防止飞片防进胶设计,避免光刻胶等污染物进入设备内部
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显影机人性化操作,使用灵活
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