质量流量控制器的配件安装与应用

        质量流量控制器加装过滤器使用的气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器，如果流量控制器出口接有液体源瓶，应在出口加装单向阀，防止液体回流损坏流量控制器。使用腐蚀性气体流量计通道采用的材料为：SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1（00Cr30Mo2）, 氟橡胶等耐蚀材料。在用户使用得当的条件下，可以用于控制一般的腐蚀性其他使用强腐蚀性气体和有机溶剂气体时，应在定货时声明。使用特殊腐蚀性气体，所有密封材料都要作相应改变。