金属化薄膜电容器的容量大小由薄膜金属层面积的大小决定，所以容量的下降主要原因就是金属镀层受到各种外界因素影响、面积减少。一般情况下，影响金属化薄膜电容使用寿命的主要原因有三点：1.电压过高。2.用于高频。（频率高，介质损耗大，发热击穿）3.使用环境温度高。
金属化薄膜电容器是在介质上直接镀一层金属薄膜作为电极，即是金属化介质电容器。由于电极是被以蒸汽形式镀上去的金属膜，所以比以机械方式制作的铝箔薄的多。这种电容器的特点是具有自愈作用。如果电压过高，使得电容器内部介质某一点被击穿，则短路电流会使得介质损坏处的金属膜蒸发掉。即使金属膜电容有自愈性，如果击穿的范围太大，就会影响电容的电容量，从而也会影响电容的寿命。
在电容器制作过程中，膜层之间存在微量的空气，较难完全消掉，因此电容器在工作时，空气在电场作用下就可能被电离。空气电离后产生臭氧，臭氧是一种不稳定的气体，常温下自行分为氧，是一种强氧化剂，低浓度下可瞬间完成氧化作用。金属化薄膜电容的金属镀层遇到臭氧分的氧后立即氧化，生成透明不导电的金属氧化物，导致电容器容量下降，因此，减少膜层间的空气，可以减缓电容量衰减。当膜层间的空气被外界水份侵入时，空气的击穿电位会降低，使空气电离向上增，产生大量的臭氧，氧化金属化薄膜电容的金属镀层，电容器的容量会迅速下降。