废气处理另一个子系统是为了防止二恶英类的再度合成的排气急冷系统，其可以把高温分解的排气急速冷却到80°C以下。组成一个完整的这种系统需要氯氟烃和水蒸气的供给装置和等离子体发生装置，还需要反应炉、冷却罐和排水处理装置等。绿美佳环保为你保驾护航用心做好每个项目。绿美佳废气处理设备为你保驾护航用心做好每个项目。

废气处理利用等离子体分解法对氯氟烃进行分解的技术已经被用于工业生产了，该分解过程可以在短较短的时间内完成，而且对装置的规模没有要求，在小型装置内也可以处理大量的氯氟烃等气体。等离子体分解法运行设备包含两个子系统，一个子系统是利用高频等离子体急速加热等离子体，使其温度在短时间内升高到约10000摄氏度，这就是超高温加水分解系统，这是利用等离子体的化学作用与水蒸气接触进行分解的原理。