特种材料溅射靶材

拥有自主研发制造的先进PVD、PECVD镀膜设备，PE、RIE等离子刻蚀设备，FLA闪光灯退火设备，以及代表新一代半导体、微电子、纳米薄膜沉积技术的ALD原子层沉积技术，技术的高密度等离子体ICP源、磁控溅射源，气路控制系统，在线工艺检测控制系统，高性能真空零部件等。  

为客户提供标准的生产、研发设备的同时，也可以为客户量身定做设备。拥有丰富的设备制作及工艺经验使FHR公司在市场上拥有很高的声誉。  

公司取得了巨大的成功，客户涉及各个领域包括西门子、阿尔卡特宇航中心、三星、欧洲航空航天局、美国NASA、欧司朗、施华洛士奇、保时捷、慕尼黑大学、德国弗劳恩霍夫研究院、开姆尼茨大学等军工、民用、研究、生产企业和部门。FHR公司客户涉及各个领域包括西门子、阿尔卡特宇航中心、欧洲航空航天局、美国NASA、欧司朗、施华洛士奇、保时捷、慕尼黑大学、德国弗劳恩霍夫研究院、开姆尼兹大学等军工、民用、研究、生产企业和部门。中国客户包括：中电科技集团14所、18所、55所，航天科技811所、771所，中科院纳米所、电子科大、重庆大学、上海交大等。  

提供德国制造特种材料靶材，包括平面靶和旋转靶，适用于半导体、微电子等行业的磁控溅射设备

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